優勢：
1、可用來測量低流速的微小流量，浸入式的還可以測量中偏高的流速，插入式熱式氣體質量流量計還可以測量大管徑的流量。
2、沒有活動部件，安裝簡單，沒有阻流件，壓力損失小，并且不需要溫壓的補償可以直接測量流體的質量流量。最突出的是量程寬、精度高、操作方便，這樣在使用的過程中減少了很多不必要的麻煩。
3、使用性能相對可靠，與其它類型的質量流量計相比，不需要溫度傳感器、壓力傳感器和計算單元，它的組成比較簡單，操作非常方便，穩定好，精確性也很高。
不足：
1、在應用中使用熱式氣體質量流量計來測量小流量時，儀表會給被測氣體帶來相當的熱量，這使得儀表在測量時的準確性上打了折扣。
2、分體式熱式氣體質量流量計，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定期清洗;對細管型儀表在使用的時候易出現管子堵塞的問題，在實際應用中它一般是不能使用的。
熱式氣體質量流量計在使用的時候，人們應當充分發揮它的特點，同時要善于規避它的不足，這樣在實際應用中才會收到更好的效果。
